【新品上市】半導體用晶元裝置PPS-8500
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| PPS-8500?415 x 510mm/515 x 510mmに対応するパネル用モデル |
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■ 2.5D,3Dパッケージ | |||
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| ? | ■ 可変レンズNA機構と等倍Dyson光學系 ■ 52x33mmの大面積露光フィールド ■ 最大8フィールドの効率的なレチクルデザイン ■ 周囲のケミカルとレジストアウトガスから光學系をプロテクト ■ 薄ウェハ?TAIKOウェハ?反りウェハなどに柔軟に対応する搬送系 |
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| ? | ■ 露光波長 |