【新品上市】UV照射裝置VUM-3500
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| 低圧UVランプから放射する254nmのUVを利用し、プラズマ処理や、熱アニール処理工程などで、蓄積された電荷を効率よく除去し、素子の特性を改善します?！√匦预胃纳皮摔瑜暄u品歩留まりの向上、信頼性の向上が期待できます。 |  |
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| ◆ 特 徴 |
| 1． | フラッシュメモリやその他の不揮発性メモリ、イメージセンサなどのチャージ除去やデータ消去に有効です。 |
| 2． | 半導(dǎo)體デバイスのトランジスタ特性の改善と安定化にも有効です。 |
| 3． | チャージイレースに最適なUV波長(zhǎng)を、効率よく照射します。 |
| 4． | 幅広い角度からUVを照射することで、効率よくチャージを除去します。 |
| 5． | 対象ウェーハサイズは、１２インチ（標(biāo)準(zhǔn)）、１１インチ（オプション）となります。 |
| 6． | 処理中のウェーハ溫度は100℃程度です。低溫で処理可能なため、ダメージを與えません。 |
| 7． | 裝置は、裝置本體、ランプ電源ユニット、制御ユニットから構(gòu)成されています。 |
| ◆ 仕 様 |
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型式 | VUM-3500 | VUS-3300 | |
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処理ウエーハ サイズ |
12インチ | ○ | ○ |
| 8インチ | OP | OP | ||
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同時(shí)処理枚數(shù) | 15枚 | 3枚 | |
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スループット ※1 | 約48WPH | 約24WPH | |
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カセット形態(tài) | FOUP | FOUP | |
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ウェーハ搬送 | 自動(dòng)搬送 | 自動(dòng)搬送 | |
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ランプ燈數(shù) | 20本 | 4本 | |
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初期照度 | 45mW/cm2 | 45mW/cm2 | |
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照度測(cè)定 | 自動(dòng)測(cè)定 | 自動(dòng)測(cè)定 | |
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裝置サイズ | 1140（W）× 2100（D）× 1850（H） |
1360（W）× 2210（D）× 2700（(H） |
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