模型	PPS-8200/8300
晶圓尺寸	6/8/12英寸
解決	2.0 μmL/S（2.0 μm 抗蝕劑厚度）
NA（數值孔徑）	0.16、0.1 變量
減速比	1:1
場地大小	52毫米×33毫米
曝光波長	ghi-Line gh-line i-line（鏈接到配方）
標線尺寸	6英寸
疊加精度	≤0.5微米（|平均|+3σ）
設備尺寸/重量	（寬）2,260 x （深）3,460 x （高）2,500 毫米 / 5,500 公斤
主要選項	背面對準系統 晶圓周邊曝光系統 晶圓周邊非曝光系統 薄晶圓傳送系統 GEM 通信兼容 內聯兼容